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超厚多元合金涂層和超厚氮化物涂層，連續(xù)沉積多元合金涂層厚度可達120um以上，實現(xiàn)單靶三維旋轉(zhuǎn)≥6.5um/h，連續(xù)沉積氮化物涂層25um以上，實現(xiàn)單靶三維旋轉(zhuǎn)≥3um/h，提高了工件表面的硬度，為航空發(fā)動機葉片修復、汽輪機葉片邊緣的沖蝕問題提供了新的解決方案。