High precision Magnetron Sputtering Optical Coating Machine 高精密磁控濺射光學(xué)鍍膜機(jī)
采用ICP輔助磁控濺射的光學(xué)膜層低吸收和低應(yīng)力，加工各類帶通膜和截止膜，如人臉識(shí)別（Face ID），中遠(yuǎn)紅外高透膜；磁控濺射各類金屬Cu，Al，Cr，Au，Ag，SUS等，工藝開發(fā)改善深孔鍍膜，鍍膜層具有優(yōu)異的臺(tái)階覆蓋性能，應(yīng)用于MEMS芯片封裝。
優(yōu)勢(shì)：
?兼容4~12英寸的自動(dòng)化基材傳輸系統(tǒng)
?工藝過程中實(shí)時(shí)基于基材直接監(jiān)控
?清潔環(huán)境沉積薄膜點(diǎn)缺陷少
?沉積工藝穩(wěn)定，薄膜具有高重復(fù)性
?快速換靶，維護(hù)保養(yǎng)便捷
