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HCSH系列

低摩擦性能涂層

Low friction coating
真空應(yīng)用解決方案提供商
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Component functional coating equipment 零部件功能涂層設(shè)備

      專為摩擦性高負(fù)荷系統(tǒng)設(shè)計(jì),低摩擦性能涂層的應(yīng)用,為汽車零部件表面處理開(kāi)啟了新視角和技術(shù)解決方案,提高了系統(tǒng)效率和部件使用壽命,經(jīng)過(guò)強(qiáng)化的摩擦性能不僅能防止零件磨損,還能在運(yùn)行時(shí)對(duì)相對(duì)件進(jìn)行拋光和保護(hù)。

      真空鍍室的真空密封和室內(nèi)運(yùn)動(dòng)部件的設(shè)計(jì)和用材,充分考慮可承受高溫。

      配置多只高效園形電弧蒸發(fā)源,或配多個(gè)矩形平面電弧蒸發(fā)源,也可配多只空心陰極槍,同時(shí)配置耐沖擊的、具有優(yōu)異滅閃弧性能的偏壓電源,保證足夠等離子體密度和反應(yīng)活性,提高膜層致密性和結(jié)合力。

     采用獨(dú)有的磁場(chǎng)控制技術(shù)使電弧在靶材整個(gè)表面做快速的移動(dòng),涂層表面光滑致密,靶材表面被均勻刻蝕,優(yōu)化了涂層結(jié)合力。低溫至300℃,也具有出色的涂層附著力,新技術(shù)帶來(lái)了更快的批次周轉(zhuǎn)效率,優(yōu)化了涂層生產(chǎn)效率,高精密度,在有效鍍層范圍內(nèi)涂層厚度均勻。


優(yōu)勢(shì):

?提高靶材利用率(最大可提高30%)
?強(qiáng)化的磁場(chǎng)系統(tǒng)和由此帶來(lái)的沉積效率的提高
?快速的靶材交換

Product Advantage.

產(chǎn)品特點(diǎn)
HCSH系列零部件功能涂層設(shè)備包括以下關(guān)鍵功能:
  • 結(jié)構(gòu)緊湊

    占地面積小,易于集成到工廠

  • 一致性

    整個(gè)腔室中均勻的鍍膜沉積速率

  • 簡(jiǎn)單

    易于操作維護(hù)

  • 模塊化

    多種工藝技術(shù)靈活組合

  • DLC

    耐用類金剛石涂層鍍膜

  • 監(jiān)控

    本地或遠(yuǎn)程監(jiān)控鍍膜過(guò)程

型號(hào) HCSH-400
有效等離子區(qū)域 D400×H450mm
最高工作溫度 550℃
技術(shù)特點(diǎn) PMAⅡ
AEG
HIPIMS
預(yù)處理 ARC, AEG, DC, MF, HIPIMS
陰極 D120 / D160 / W125
真空條件 極限真空≤5×10-4Pa
工作真空≤5×10-3Pa
工藝周期 關(guān)門到開(kāi)門4~5h
TiN:2~2.5um
TiAlN:2~2.5um
TiSiN:2~3.5um
設(shè)備配置 磁懸浮分子泵
脈沖偏壓電源
PC智能控制系統(tǒng)
標(biāo)準(zhǔn)轉(zhuǎn)架 D140×4軸
最大裝載量 200KG
備注 選用濺射(UBM,RF等)有效高度會(huì)適當(dāng)減小
在線服務(wù)支持系統(tǒng)

Application cases.

應(yīng)用案例
型號(hào) HCSH-650
有效等離子區(qū)域 D650×H750mm
最高工作溫度 550℃
技術(shù)特點(diǎn) PMAⅡ
AEG
HIPIMS
預(yù)處理 ARC, AEG, DC, MF, HIPIMS
陰極 D120 / D160 / W125
真空條件 極限真空≤5×10-4Pa
工作真空≤5×10-3Pa
工藝周期 關(guān)門到開(kāi)門5~8h
TiN:2~2.5um
TiAlN:2~2.5um
TiSiN:2~3.5um
設(shè)備配置 磁懸浮分子泵
脈沖偏壓電源
PC智能控制系統(tǒng)
標(biāo)準(zhǔn)轉(zhuǎn)架 D140×8軸
最大裝載量 500KG
備注 選用濺射(UBM,RF等)有效高度會(huì)適當(dāng)減小
在線服務(wù)支持系統(tǒng)

Application cases.

應(yīng)用案例
型號(hào) HCSH-900
有效等離子區(qū)域 D900×H1200mm
最高工作溫度 550℃
技術(shù)特點(diǎn) PMAⅡ
AEG
HIPIMS
預(yù)處理 ARC, AEG, DC, MF, HIPIMS
陰極 D120 / D160 / W125
真空條件 極限真空≤5×10-4Pa
工作真空≤5×10-3Pa
工藝周期 關(guān)門到開(kāi)門7~10h
TiN:2~2.5um
TiAlN:2~2.5um
TiSiN:2~3.5um
設(shè)備配置 磁懸浮分子泵×2
脈沖偏壓電源
PC智能控制系統(tǒng)
標(biāo)準(zhǔn)轉(zhuǎn)架 D140×12軸
最大裝載量 500KG
備注 選用濺射(UBM,RF等)有效高度會(huì)適當(dāng)減小
在線服務(wù)支持系統(tǒng)

Application cases.

應(yīng)用案例
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