ITO/ISI horizontal inline coating machine ITO/ISI臥式連續(xù)鍍膜生產(chǎn)線
該設(shè)備是一款大型平面磁控濺射連續(xù)生產(chǎn)設(shè)備，采用模塊化設(shè)計，方便日后擴(kuò)展升級；配備多組大型磁控陰極，可適用于多種膜系結(jié)構(gòu)的組合；全自動化控制，高穩(wěn)定性傳動系統(tǒng)，可與機(jī)械手無縫對接，實現(xiàn)連續(xù)穩(wěn)定的流水線作業(yè)；生產(chǎn)節(jié)拍快，產(chǎn)量大。
優(yōu)勢：
?采用閉環(huán)控制器的高反應(yīng)濺射率
?出色的氣體分離技術(shù)
?靈活配置以滿足特定的生產(chǎn)需求
?3、5或7倍微調(diào)氣體分布以提高涂層均勻性
?優(yōu)化的磁性配置，具有出色的均勻性和利用率
?兼容工業(yè)機(jī)器人的自動裝卸
