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HIPIMS技術(shù)在金屬雙極板涂層中的應(yīng)用

2023-08-16

2028
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       目前,燃料電池汽車(fuel cell electric vehicle, FCEV)被認為是最有前途的、綠色的和清潔的可替代能源汽車。作為FCEV的動力源,質(zhì)子交換膜燃料電池(proton exchange membrane fuel cell, PEMFC)將氫氣化學能直接轉(zhuǎn)化為電能,產(chǎn)物僅有水,較高的能量轉(zhuǎn)換效率、無污染等優(yōu)點使其備受關(guān)注。雖然PEMFC有諸多優(yōu)點,但耐久性和成本這兩個主要問題一直阻礙著它的商業(yè)化應(yīng)用。燃料電池電堆是燃料電池的核心部分,其核心部件包括質(zhì)子交換膜和雙極板等,雙極板是PEMFC電堆的重要組件,約占整體70%的質(zhì)量和30%的價格。雙極板一般有金屬和石墨兩種材料。
       金屬雙極板與石墨雙極板相比,金屬雙極板如鈦合金、不銹鋼等,具有與之類似的高導電、導熱能力,金屬雙極板具有更好的機械強度、阻氣能力和抗沖擊能力。因此,金屬雙極板能夠做到超薄,大幅提升比功率密度。

但是金屬雙極板也存在一定缺陷:
●在電池環(huán)境下耐腐蝕性能差,表面生成的鈍化膜的電導率低
●金屬離子會污染催化劑導致失活
●還會在膜電極表面積聚從而導致接觸電阻(ICR)增大 
因此需要通過表面涂層改性提升金屬雙極板的性能。 

金屬雙極板涂層技術(shù):
      根據(jù)DOE標準,腐蝕電流和接觸電阻是涂層工藝的關(guān)鍵,對涂層質(zhì)量和性能產(chǎn)生影響。
      腐蝕主要來源:化學腐蝕與電化學腐蝕(點狀腐蝕、涂層中柱狀晶針孔造成的腐蝕),雙極板制造過程中應(yīng)力造成的腐蝕 。
      涂層結(jié)構(gòu)組織的復合化和納米化,有利于提升雙極板的耐蝕性、導電性,其對于提升氫燃料電池的性能及保證其運行的穩(wěn)定性和耐久性具有重要作用。 
常用的涂層主要分為金屬基涂層(貴金屬、金屬碳/氮化物)、非金屬涂層和復合涂層 。
      但有些涂層的成本較高,如貴金屬涂層,量產(chǎn)化困難;非金屬涂層主要是石墨基涂層它們具有制備簡單、成本低的特點,但存在耐蝕性差和結(jié)合力差的問題;復合涂層結(jié)合了金屬涂層和非金屬涂層的優(yōu)點,在具有一定耐蝕性的基礎(chǔ)上,可以保持良好的導電性。

HCVAC金屬雙極板涂層:
      為助力氫能源發(fā)展,廣東匯成真空(HCVAC)開發(fā)了適用于金屬雙極板的涂層及涂層設(shè)備體系。目前涂層后的金屬雙極板導電性和耐腐蝕性均得到顯著提升,滿足DOE標準。
      主要采用技術(shù)高功率脈沖磁控濺射+磁控濺射(HIPIMS+MS)或者高功率脈沖磁控濺射+電弧(HIPIMS+ARC)技術(shù)制備鈦+超級導電石墨(Ti+SCG)涂層。
雙極板鍍膜設(shè)備

HIPIMS技術(shù):
      高功率脈沖磁控濺射(HIPIMS)技術(shù)是利用較高的脈沖峰值功率和較低的脈沖占空比來產(chǎn)生高濺射金屬離化率、高能量離化粒子的一種磁控濺射技術(shù),使用Hipims技術(shù)制備的薄膜具有結(jié)構(gòu)致密、表面光滑、膜基結(jié)合力高、均勻性好等優(yōu)點 。
優(yōu)點:
●與現(xiàn)有濺射系統(tǒng)兼容 
●提高等離子體密度 
●濺射粒子離化,具有高能量 
●優(yōu)異的填孔沉積(高臺階覆蓋率) 
●低溫沉積晶化薄膜 
●獲得高致密、高性能薄膜

HIPIMS技術(shù)與雙極板涂層
      涂層影響因素可以主要分為工作環(huán)境、工作條件兩大類。在電堆運行的過程中,溫度、PH值、氫氣濃度及壓力等改變都會影響它的性能。包括電勢、瞬態(tài)電勢等也會對它有一定的影響,所以需要優(yōu)化涂層結(jié)構(gòu),以提高整個電堆的性能。
HCVAC作為一家專業(yè)真空設(shè)備供應(yīng)商,公司致力于推動雙極板涂層產(chǎn)業(yè)化,所有的開發(fā)涂層工藝測試基于量產(chǎn)化;HIPIMS技術(shù)與現(xiàn)有濺射系統(tǒng)兼容,高能量、可以獲得高致密、高性能薄膜的特性,因此用HIPIMS+MS來制備Ti+SCG復合涂層,改善膜層導電和耐蝕性能 。

HCVAC雙極板涂層設(shè)備:
      HCVAC推出適用于客戶小批量生產(chǎn)到大批量生產(chǎn)的立式多腔室連續(xù)涂層設(shè)備,采用模塊化設(shè)計,可以方便的對設(shè)備進行擴展;滿足了大批量工業(yè)生產(chǎn)需求,多腔室連續(xù)涂層設(shè)備可以有效的突破雙極板涂層生產(chǎn)瓶頸,為雙極板工業(yè)化生產(chǎn)提供切實有效的解決方案。
雙極板鍍膜設(shè)備
“交鑰匙工程”實現(xiàn)提質(zhì)降本

      做好金屬雙極板板涂層,必須靠工藝、設(shè)備和材料三方面的優(yōu)勢互補與深度融合。在此基礎(chǔ)上HCVAC提出了“交鑰匙工程”設(shè)備解決方案,可以根據(jù)客戶需求提供定制化真空應(yīng)用解決方案,在鍍膜工藝、設(shè)備、材料和售后等環(huán)節(jié)整體統(tǒng)一與有效協(xié)同,幫助企業(yè)降低涂層成本。


雙極板鍍膜設(shè)備


      廣東匯成真空科技股份有限公司是一家研發(fā)、生產(chǎn)和銷售PVD鍍膜設(shè)備、光學鍍膜設(shè)備、卷繞鍍膜設(shè)備、連續(xù)式鍍膜設(shè)備、半導體PVD/ALD設(shè)備等真空應(yīng)用解決方案的國家高新技術(shù)企業(yè),國家工信部授予“專精特新‘小巨人’”企業(yè)稱號,成立廣東省博士工作站,取得多項發(fā)明、實用新型、外觀設(shè)計專利和版權(quán)著作權(quán)。