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行業(yè)應(yīng)用

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對(duì)于強(qiáng)烈彎曲、三維、微米或納米結(jié)構(gòu)的組件,原子層沉積(ALD) 技術(shù)特別適用。
原子層沉積的一個(gè)關(guān)鍵優(yōu)勢(shì)是層厚度和成分的精確控制。
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