光學(xué)真空鍍膜機(jī)我們正常情況稱之為高端真空鍍膜機(jī),它的價(jià)格和配置都比常規(guī)鍍膜機(jī)要求高一些,鍍膜的精度也會(huì)要求更嚴(yán)格,那么光學(xué)真空鍍膜機(jī)結(jié)構(gòu)和工作原理是怎樣的呢?下面匯成小編詳細(xì)和大家介紹一下,希望能幫助到大家:
光學(xué)真空鍍膜機(jī)由真空系統(tǒng)、蒸鍍系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)和電氣系統(tǒng)組成,其中真空系統(tǒng)由真空罐和排氣系統(tǒng)組成。真空罐是鍍膜機(jī)的主體,鍍膜過(guò)程就是在真空罐中完成的,通過(guò)連接閥將真空罐和排氣系統(tǒng)相連。為了防止空氣分子對(duì)濺射離子的影響、提高膜層的質(zhì)量,在工作時(shí),必須將光學(xué)元件和離子源置于真空環(huán)境中。排氣系統(tǒng)主要由機(jī)械泵、羅茨泵和真空泵組成,負(fù)責(zé)排出真空罐內(nèi)的氣體、使罐內(nèi)形成真空環(huán)境。蒸鍍系統(tǒng)主要指成膜裝置部分,鍍膜機(jī)器的成膜裝置有很多種,如電阻加熱、電子槍蒸發(fā)、磁控濺射、射頻濺射、離子鍍等。
光學(xué)真空鍍膜機(jī)通過(guò)真空濺射的方式在光學(xué)元件上涂鍍薄膜, 以此改變?cè)?duì)入射光線的反射率和透過(guò)率。同時(shí),為了盡可能地減少元件表面的反射損失、提高成像質(zhì)量,往往涂鍍多層薄膜。光學(xué)元件鍍膜后,光在多層膜層的表面進(jìn)行多次反射和透射,形成多光束干涉,通過(guò)控制膜層的厚度和折射率,可以得到不同的強(qiáng)度分布。利用這一原理可以制造偏振反光膜、彩色分光膜、冷光膜和干涉濾光片等,以滿足更加復(fù)雜的需求。